喜讯 | 计量维修部获荣省科技进步二等奖
近日,河北省科学技术奖励大会在石家庄召开。省委书记、省人大常委会主任倪岳峰等领导出席大会并为代表颁奖。产业基础研究院副院长赵瑞华作为科研院所代表受邀参加大会,计量维修部赵琳作为省科技进步二等奖获奖代表参会。
赵琳、李锁印等人主持完成的“微纳尺寸线距标准样片的研制与定值”获得省科技进步二等奖。该项目面向半导体行业内微纳尺寸测量仪器的校准需求,研制完成微纳量级多量值复合型标准样片,为微纳尺寸参数测量准确性提供了保障。在项目研究基础上,编制并发布国家标准《微纳米标准样板(几何量)》1项,完善了国家微纳米标准样品体系,相关技术进行了成果转化。
长期以来,计量维修部立足研究院计量需求,持续开展前沿计量测试技术研究,在技术水平及保障能力提升方面取得较好成效。后续,部门也将在已有技术基础上,进一步做好成果推广工作,助力研究院院及半导体行业高质量发展!